簡(jiǎn)要描述：自動(dòng)變焦三維表面形貌測量?jì)xInfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標測量和表面形貌測量于一體的光學(xué)測量系統。

三維表面形貌測量?jì)xInfiniteFocus G5

自動(dòng)變焦三維表面形貌測量?jì)xInfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標測量和表面形貌測量于一體的光學(xué)測量系統。

自動(dòng)變焦三維表面形貌測量?jì)xInfiniteFocus G5的突出特點(diǎn)：

一款*的3D光學(xué)測量?jì)x

InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量系統和表面粗糙度測量系統所有的功能。

萬(wàn)能和高效

LED環(huán)形燈的設計，使表面測量的范圍幾乎不受限制。

高分辨，高可重復性和可溯源

即使對于復雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率

高測量速度

InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬(wàn)點(diǎn)/秒。

模塊化和可擴展性

新的功能可以很容易通過(guò)擴展測量模式整合

全自動(dòng)

測量簡(jiǎn)單且自動(dòng)化程度高，如自動(dòng)更換物鏡等

自動(dòng)變焦三維表面形貌測量?jì)xInfiniteFocus G5的主要技術(shù)參數：

位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm

樣品表面結構：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2µm，取決于表面結構

大樣品高度：100mm ～ 345mm

大樣品重量：30kg

水平分辨率：0.44µm

垂直分辨率：10nm

大掃描高度：22.5mm

大擴展視野范圍：10000mm2

大單一方向掃描范圍：100mm

測量速度:170萬(wàn)個(gè)測量點(diǎn)/秒

小測量高度：0.01µm

大測量高度：22.5mm

大測量范圍：10000mm2

大測量形貌長(cháng)度：100mm

小可重復性：0.001µm

小測量粗糙度（Ra）：0.03µm

小測量粗糙度（Sa）：0.015µm

小測量半徑：1µm

小測量垂直角度：20°

大測量?jì)A斜角度：87°

自動(dòng)變焦 G5比InfiniteFocus G4擁有更*的性能

測量速度增加20倍

自動(dòng)設置

適用更多材料及更復雜表面的測量

更穩定，更精密的測量

測量精度更高，尤其對于大范圍面積樣品的測量