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三維表面形貌測量?jì)xIF-Sensor R25
三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 是奧地利alicona公司專(zhuān)門(mén)針對生產(chǎn)中全自動(dòng)測量形貌和粗糙度而設計的一款光學(xué)三維測量?jì)x。
三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 系 統
傳感器與生產(chǎn)線(xiàn)相結合使得在測量微米和亞微米級別的表面特性時(shí)該設備可以提供高分辨率,可重復型和可溯源的結果。所測得結果的分辨率是傳統2D測量和接觸式測量所不能比擬的。
R25 優(yōu) 勢
在研發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程中,自動(dòng)變焦(Focus-variation)技術(shù)可以提供高分辨率、高重復性的測量結果。因此 R25為研發(fā)和生產(chǎn)提供了同一個(gè)測量流程平臺。標準化界面(QDAS)支持生產(chǎn)中的簡(jiǎn)易快速整合,實(shí)現了生產(chǎn)線(xiàn)和實(shí)驗室測量結果的對比。
R25的技術(shù)參數:
位移距離(Z):26mm(自動(dòng)調節)
zui大掃描高度:25mm
*垂直分辨率:20nm
zui小測量半徑:2µm
zui小測量楔角:20°
zui小測量粗糙度(Ra):80nm
zui小測量粗糙度(Sa):50nm
zui大測量?jì)A斜角:87°
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