實(shí)際生產(chǎn)中微觀(guān)上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價(jià)具有直接的影響，而且表面三維評定參數由于能更全面、更真實(shí)地反映零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視，因此便攜式三維形貌儀的測量就越顯重要。通過(guò)對三維形貌的測量可以比較全面地評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認加工方法的好壞及設計要求的合理性，這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)指導加工、優(yōu)化加工工藝以加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現。
便攜式三維形貌儀適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值，交互縮放，X-Y和線(xiàn)段剖面，三維線(xiàn)路、混合和固定繪圖，用于階越高度測量的地區差異繪圖。
便攜式三維形貌儀的幾大校準方法：
1、三維形貌校準：這一校準都和形貌測量的“高度”結果相關(guān)，所以稱(chēng)為三維校準。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標定；以及使用標準臺階塊對臺階高度測試精度校準。
2、二維光強校準：這一校準和成像視場(chǎng)范圍內的“光強”信號相關(guān)。設備有一些功能，可以增強用戶(hù)對樣品表面觀(guān)察效果。比如在某觀(guān)測模式下，可以自動(dòng)去除視場(chǎng)中黑白條紋，更清楚地觀(guān)測表面紋理；真彩模式可以復現表面彩色信息。
由于以上功能相關(guān)標定都只涉及“光強”，不涉及到形貌高度，所以稱(chēng)為二維光強校準。
3、橫向校準：這一校準是為了標定在當前設置下，每個(gè)像素在橫向上代表的尺寸大小。
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