三維表面形貌測量?jì)x采用了上等光學(xué)系統,可通過(guò)非破壞觀(guān)察法生產(chǎn)高畫(huà)質(zhì)的圖像并進(jìn)行3D測量，可以滿(mǎn)足不同樣品的觀(guān)測需求。本產(chǎn)品是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款檢測設備，測量精度重復性達到世界較高水平；關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等；配備進(jìn)口第三方校準標準件，高性?xún)r(jià)比微觀(guān)形貌測量設備。
應用：
三維表面形貌測量?jì)x用來(lái)測量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓、表面粗糙度等；
1、精密部件：檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結構有要求的零部件，比如發(fā)動(dòng)機汽缸、刀口等；
2、生命科學(xué)：測量stents支架上鍍層厚度等；
3、微電子機械系統：微型器件的檢測，醫藥工程中組織結構的檢測，如基因芯片等；
4、半導體：檢測微型電子系統，封裝及輔助產(chǎn)品結構設計；
5、太陽(yáng)能：太陽(yáng)能電池片柵線(xiàn)的3D形貌表征、高寬比測量，制絨后3D形貌表征，粗糙度分析等；
6、紙張：紙張、錢(qián)幣表面三維形貌測量；
7、LED：用于藍寶石襯底的測量，抽檢PSS ICP后的WAFER的3D形貌。
產(chǎn)品特性：
1、采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨；
2、測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高；
3、測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料；
4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面；
5、不受樣品反射率的影響；
6、不受環(huán)境光的影響；
7、測量簡(jiǎn)單，樣品無(wú)需特殊處理。
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