三維形貌儀是采用自主核心的技術(shù)研制開(kāi)發(fā)并成功推出的高精密測量?jì)x器。儀器采用白光干涉原理，測量樣品表面微細形狀分布。是綜合運用光電子技術(shù)、微弱信號檢測技術(shù)、精密機械設計和加工技術(shù)、數字信號處理技術(shù)、應用光學(xué)技術(shù)、精密控制技術(shù)、計算機高速采集和控制技術(shù)、高分辨圖形處理技術(shù)等現代科技成果的光、機、電一體化的高科技產(chǎn)品。為使用者提供高度、高解析度、快速、非接觸的三維形貌測量?？梢钥焖贉y量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸至納米級別。操作方便快捷、應用范圍廣泛。儀器分高精度型(PR06系列)和標準型(PR05系列)，滿(mǎn)足用戶(hù)不同級別的測量需求。
工作原理：
三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測量?jì)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會(huì )觀(guān)察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現的位置解析出被測樣品的相對高度。
系統構成：
光學(xué)照明系統 采用鹵素光源、中心波長(cháng)為576nm、光譜范圍340nm—780nm
光學(xué)成像系統 采用無(wú)限遠光學(xué)成像系統、由顯微物鏡和成像目鏡組成
垂直掃描系統 采用閉環(huán)反饋控制方式驅動(dòng)顯微物鏡垂直移動(dòng)、移動(dòng)范圍0-500μm、位置移動(dòng)精度 0.1nm
信號處理系統 計算機和數字信號協(xié)處理器組成、采集系列原始圖像數據使用數字信號協(xié)處理器完成數據解析
三維形貌儀主要特點(diǎn)：
包含接觸式和非接觸式兩種掃描方式
試用于幾乎所有的表面
透明，不透明，反射光強等多種材料。
垂直臺階，高寬深比，隆起，孔洞。
脆性的材料，軟材料，柔性材料表面。
尖銳的，堅硬的，磨損的表面。
適應性強
白光光源，人體安全設計，長(cháng)壽命白光LED 免維護?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實(shí)驗室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的結合。
接觸式輪廓儀針尖掃描采用的壓電陶瓷驅動(dòng)掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用別光學(xué)參考平臺能使長(cháng)程掃描范圍到150mm。
掃描過(guò)程中結合彩色光學(xué)照相機可對樣品直接觀(guān)察。
針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時(shí)擁有寬闊測量動(dòng)態(tài)范圍(大至500μm)及亞納米級垂直分辨率 (小0.1nm )。
軟件設置恒定微力接觸(0.1 to 100[mg])。
高精度
的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式)；2 nm(光學(xué)非接觸式)。
對周?chē)h(huán)境和光源的強適應性。
沒(méi)有機械過(guò)濾。
寬闊的垂直測量范圍
多種選擇光學(xué)頭及接觸式。
縱向掃描范圍 300 to 3900 μm。
圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現在一幅圖像內。
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