只有了解三維表面形貌測量?jì)x的測量原理，才能更好的使用

　　三維表面形貌測量?jì)x具有高分辨率、大量程、低成本的特點(diǎn)。該三維表面形貌測量?jì)x由基于直線(xiàn)相位衍射光柵干涉原理的微位移傳感器、X-Y二維工作臺、立柱、光電探測器以及信號處理電路、計算機及數據處理軟件組成。該輪廓儀工作臺的工作范圍為50 mm×50 mm,小步距為0.2μm，工作臺計量系統的分辨率為0.05μm，微位移傳感器理論垂直分辨率可達到0.12 nm，實(shí)際測量量程為2 mm，通過(guò)更換測桿可以達到6 mm的測量量程。
 

　　三維表面形貌測量?jì)x的測量原理：
 

　　低相干白光同時(shí)照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收，由于探測器直接與信號處理芯片(Smart Pixel技術(shù))連接，所以陣列上每個(gè)像素點(diǎn)的信號都在芯片中完成鎖相放大，背景信號補償和結果計算輸出，成像于計算機就實(shí)現了樣品表面的快速三維形貌測量。
 

三維表面形貌測量?jì)x的突出特點(diǎn)：
 

　　1、全自動(dòng)：測量簡(jiǎn)單且自動(dòng)化程度高，如自動(dòng)更換物鏡等。
 

　　2、高測量速度：InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬(wàn)點(diǎn)/秒。
 

　　3、模塊化和可擴展性：新的功能可以很容易通過(guò)擴展測量模式整合。
 

　　4、和：LED環(huán)形燈的設計，使表面測量的范圍幾乎不受限制。
 

　　5、高分辨，高可重復性和可溯源：即使對于復雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率。
 

　　6、一款的3D光學(xué)測量?jì)x：InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量系統和表面粗糙度測量系統所有的功能。