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原來(lái)三維表面形貌測量?jì)x還可以應用在這些領(lǐng)域中
原來(lái)三維表面形貌測量?jì)x還可以應用在這些領(lǐng)域中
更新時(shí)間：2022-07-08 點(diǎn)擊次數：963
隨著(zhù)半導體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展，電子產(chǎn)品都往小型化，輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出，穿戴電子產(chǎn)品成為了一個(gè)新的電子設備應用潮流。隨著(zhù)電子產(chǎn)品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來(lái)，這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來(lái)越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰。原來(lái)很多制程工序只要管控2D的尺寸，現在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級別，這就需要一個(gè)高速、高精度的測量手段來(lái)管控生產(chǎn)品質(zhì)。
三維表面形貌測量?jì)x應運而生，這款儀器采用非接觸式線(xiàn)光譜共焦快速掃描技術(shù)，能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結構，對肉眼不可見(jiàn)的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和較強
的穩定性，一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點(diǎn)膠、3D玻璃，半導體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測，就是這款產(chǎn)品的主要應用領(lǐng)域。
三維表面形貌測量?jì)x的主要應用：
1、3D玻璃缺陷檢測；
2、半導體表面缺陷測試；
3、多層薄膜厚度測試；
4、精密部件3D尺寸及段差測試；
5、精密點(diǎn)膠膠線(xiàn)截面、膠線(xiàn)寬度、膠線(xiàn)高度測試。
產(chǎn)品特性：
1、采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率；
2、測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高；
3、測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料；
4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面；
5、不受樣品反射率的影響；
6、不受環(huán)境光的影響；
7、測量簡(jiǎn)單，樣品無(wú)需特殊處理。
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